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概述
概述
・ 液晶面板/OLED面板蒸镀不良的检测装置
・ 蒸镀后的异常识别(异物,膜厚,凸起物的有无)以及模式识别
・ 在中国,日本和韩国的量产设备上实际被采用案例诸多。
特征
・ 针对细微缺陷(sub-micro级)的高分辨率检测和高速审查技术
・ 采用Deep Learning技术
・ 通过使用内部开发软件实现了高稳定性