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濺射系統
濺射設備：成膜設備
概述
・ 將基板粘合/分離到載體並沉積以用於工藝
一種放入/取出存儲的運輸系統。
・ 大面積基板上的氧化物，用於製造薄膜晶體管
在真空中沉積金屬材料的裝置。
・ 大面積基板上的氧化物和金屬材料，用於製造彩色濾光片
在真空狀態下沉積的裝置。
・ 中等尺寸基板上的氧化物或金屬材料
濺射太陽能或建築面板
用於電極層的生產過程。
特徵
- 板水平運輸和垂直轉換，
載體垂直運輸是可能的。
・ 仿真合作 結構優化設計
有。此外，偏轉量被最小化。
最大值為 0.1 毫米。
- 使用垂直靜態類型。
・ 移動陰極部分磁鐵以製作薄膜
最大限度地提高質量和目標使用效率。
-可以運輸的水平動態類型。
・ 移動陰極處的磁鐵以提高靶材的使用效率。
實現薄膜的最大化和質量改進。
規格
-配置：玻璃裝載機/卸載機，
玻璃搬運機器人、搬運站、
轉運站、雜誌、安全圍欄
・ 兼容板尺寸：第 8 代 Glass 或以上
・薄膜沉積材料：ITO、SIO、TIO、ZnO、CrOx、AZO、
GZO, IGZO, 金屬
- 使用的電源：直流、脈衝直流或中頻
* 請聯繫我們了解詳細的結構和規格。
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