・ 小於 1um 的亞微級 (0.1um ~ 1um)

缺陷檢測技術帶來的高分辨率檢測

實現了。

・ 針對複雜電路形成過程中出現的各種微小缺陷

為此，有一種高速審查技術。

・ 使用深度學習技術提取致命缺陷

並且可以分類。